MEMS，又叫微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems），是建立在微米/纳米技术基础上，对材料来设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件电控系统集成为一个整体单元的微型系统，其基本特点是微型化、智能化、多功能、高集成度和适合大批量工业化生产。

  根据Yole 研究预测，全球MEMS器件市场规模将从2020年的121亿美元增长至2026年的约182亿美元，复合增长率为7.2%。预计到2026年，10亿美元以上的MEMS细致划分领域包括射频类MEMS器件、MEMS惯性器件、MEMS压力传感器、MEMS声学传感器等。

  眼下，MEMS产品大致上可以分为传感器和执行器两大类，其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，执行器则是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。从MEMS器件的市场规模来看，MEMS产品主要以MEMS传感器为主。

  MEMS传感器种类非常之多，基本的产品包含MEMS运动传感器、MEMS声学传感器、MEMS压力传感器、MEMS环境传感器、MEMS光传感器等。其中运动传感器又可分为陀螺仪、加速度计、磁力计。本文将重点介绍部分MEMS传感器领域的代表企业。

  伴随着数字化浪潮席卷各个行业，MEMS发展也开始呈现出智能化、微型化、集成化的特点。

  客观而言，MEMS是一种微制造技术，是微电路和微机械按功能要求在芯片上的一种集成。MEMS器件基于光刻、刻蚀、封装等传统半导体技术，融入超精密机械加工，结合物理学、化学、光学、生物学等学科知识和技术，使得微小的MEMS器件也可以具备精确而完整的机械、电子等特性结构。

  随着终端应用市场的日益广阔，MEMS应用领域也愈加广泛，产业规模日渐扩大，慢慢的变成为集成电路行业一个新的分支。

  对此，赛迪顾问副总裁李珂曾表示，MEMS产业未来智能化、微型化、集成化的趋势明显，国内企业的机遇大于挑战。

  对此，李珂曾公开表示，MEMS产业经过近四十年的发展，在国际上形成了一批以博通、博世、意法半导体等欧美企业为代表的领先企业，日韩和中国台湾等地的企业并未取得技术优势，而近些年中国大陆的MEMS公司发展迅速，已经初步形成了以长三角地区为研发设计和材料设备、以京津冀地区为制造、珠三角地区为封装测试、中西部重点城市为系统集成与应用的产业链。

  中国作为全球最大的制造业国家与半导体消费市场，在应用领域上也为MEMS传感器提供了广阔空间：

  消费类电子科技类产品是 MEMS 传感器的重要应用领域，声学传感器、压力传感器、惯性传感器、压感传感器均在消费类领域有所应用。例如MEMS麦克风、陀螺仪、加速度、磁力计、骨传导传感器等在手机、无人机、可穿戴设备、TWS耳机等产品中应用广泛。

  汽车是MEMS传感器的传统应用市场，随着新能源、车联网等技术的发展，智能汽车对MEMS传感器的需求愈加增长。为抓住未来几年国产汽车电子产业链重塑的历史机遇，随着国产车企在新能源汽车市场占有率的提升，国内MEMS传感器企业正在加大研发力度和人才技术储备，力争在技术性能和性价比上满足国内的产业链需求。

  例如在交互方式上，语音控制显得日益重要，MEMS麦克风将迎来新的发展新机遇；再例如在安全防护上，侧翻与稳定性控制需要MEMS加速度传感器和MEMS角速度传感器来感测车身状态。类似对MEMS传感器的需求不胜枚举。

  近年来，国内智慧医疗市场的市场规模逐步扩大，尤其是在疫情肆虐全球的背景下，医疗行业对热感摄影机、呼吸机等医疗设施的需求明显地增长，微热辐射测定仪、MEMS压力传感器、MEMS流量传感器的需求也随之增长；工控领域，在新技术赋能传统工业的大背景下，企业对安全生产、效率提升提出了新的要求，MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等器件在工业控制领域的使用也日益广泛。

  2017年，歌尔股份有限公司微电子事业群正式独立，成立歌尔微电子有限公司，2021年变更为歌尔微电子股份有限公司。歌尔微电子是国内MEMS厂商的有突出贡献的公司，现在正处于上市冲刺阶段。

  歌尔微电子是一家以MEMS器件及微系统模组研发、生产与销售为主的半导体公司，业务涵盖芯片设计、产品研究开发、封装测试和系统应用等产业链关键环节，可提供“芯片+器件+模组”的一站式产品解决方案。其基本的产品包括MEMS传感器和微系统模组，大范围的应用于智能手机、智能无线耳机、平板电脑、智能可穿戴设备和智能家居等消费电子领域及汽车电子领域。

  2021年歌尔微电子的营业收入为33.45亿元，归属于母公司股东的净利润约3.29亿元；其中MEMS声学传感器和其他MEMS传感器营收金额约为30.72亿元，占比超过90%。

  除了晶圆制造，歌尔微电子拥有较为完整的产业链经营模式，通过垂直整合将芯片设计、产品研究开发、封装测试和系统应用等环节紧密结合，快速实现技术突破，有效缩短产品研制周期，提高生产效率和产品可靠性。

  北京赛微电子股份有限公司成立于2008年，是国内知名的MEMS代工厂。赛微电子以半导体业务为核心，面向物联网和人工智能,一方面重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务,一方面积极布局GaN材料与器件业务。

  目前赛微电子的基本的产品及业务包括MEMS芯片的工艺开发及晶圆制造、GaN外延材料生长与器件设计,下游应用领域包括通信、生物医疗、工业科学、消费电子等。

  2021年，赛微电子实现营业收入9.29亿元，较上年增长21.38%；实现归属于上市公司股东的净利润2.06亿元，较上年增长2.30%。

  2021年赛微电子MEMS工艺开发、晶圆制造业务产能和平均单价持续提升，其瑞典产线在新增产能磨合、产能利用率处于低位的同时仍实现了营业收入及毛利润的增长，虽然北京产线MEMS晶圆制造实现的营业收入及毛利润较低，但赛微电子MEMS业务的整体毛利率仍保持在46.69%的较高水平。

  此外，去年赛微电子的管理费用及研发费用增长幅度及绝对金额较大，也对盈利产生了影响。

  敏芯股份成立于2007年，是一家专门干微电子机械系统传感器研发设计的高新技术企业,其总部设在苏州工业园区,并在苏州工业园区、昆山设有传感器产品制造工厂。敏芯股份专注于 MEMS 传感器的研发与设计，并从事部分晶圆测试等生产工序，目前其子公司已经具备封装和测试产能。

  敏芯股份三大产品线分别为MEMS声学传感器、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器,应用场景涵盖消费电子、医疗、工业控制和汽车电子等领域。

  2021年，敏芯股份实现营业总收入约3.52亿元，同比增长 6.57%；实现归属于母企业所有者的净利润约0.12亿元，同比减少 70.16%。

  在敏芯股份三大产品线中，MEMS声学传感器的出售的收益占主要经营业务收入的比例比较高，2021年MEMS声学传感器营业收入约2.87亿元，约占营收总额的82%。

  据 Omdia报告数据显示，2020 年敏芯股份的硅麦克风芯片出货量位列全球第三（达到总出货量的6.8%），是国内MEMS麦克风的有突出贡献的公司。但对比英飞凌（43.2%）和楼氏（38.3%）的出货量，敏芯股份仍有较大的增长空间。

  在全球MEMS器件市场慢慢增长的大背景下，期待国产MEMS厂商不断降本增效，提升产品的可靠性，为国内的相关产业产业创造更多价值。