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大科普:最全面的半导体晶圆工艺介绍
来源:欧宝官方手机网页      发布时间:2023-12-17 03:04:09      


大科普:最全面的半导体晶圆工艺介绍


  IC 设计方面, 巨头把控竞争壁垒较高, 2018 年以来 AI 芯片成为新成长动力。 高通、博通、联发科、苹果等厂商实力最强,大陆厂商海思崛起。 随着科学技术发展引领终端产品升级,AI 芯片等创新应用对 IC 产品需求逐步扩大,预计到 2020 年 AI 芯片市场规模将从 2016 年约 6 亿美元升至 26 亿美元, CAGR 达 43.9%,目前国内外 IC 设计厂商正积极布局 AI 芯片产业。英伟达是 AI 芯片市场领导者, AMD 与特斯拉正联合研发用于无人驾驶的 AI 芯片。

  对于国内厂商,华为海思于 2017 年 9 月率先推出麒麟 970 AI 芯片,目前已成功搭载入 P20等机型;比特大陆发布的全球首款张量加速计算芯片 BM1680 已成功运用于比特币矿机;寒武纪的 1A 处理器、地平线的征程和旭日处理器也已崭露头角。IC 设计面向终端、面向市场成为必然,国内厂商优势显著。 IC 设计业以需求为导向,才可以更加好服务于下游客户。海思、展锐等移动处理芯片、基带芯片厂商依靠近些年中国智能手机市场爆发迅速崛起,跻身世界 IC 设计十强,海思芯片已全面应用到华为智能手机当中,三星、小米等厂商亦采用了自研芯片, 现今中国为全球最大的终端需求市场,因而国内IC 设计业有巨大发展优势。

  代工制造方面,厂商 Capex 迅速增加,三星、台积电等巨头领衔。 从资本支出来看,目前全球先进制程芯片市场之间的竞争激烈,全球排名前三的芯片制造商三星、英特尔、台积电的Capex 均达到百亿美元级别, 2017 年分别为 440/120/108 亿美元,预计三星未来三年总Capex 接近 1100 亿美元,英特尔和台积电 2018 年 Capex 则预计分别达到 140 和 120 亿美元,均有较大幅度的增长,利于巨头通过研发先进制程技术和扩张产线来占领市场。

  从工艺制程来看,台积电走在行业前列,目前已大规模生产 10nm 制程芯片, 7nm 制程将于 2018年量产;中国大陆最为领先的代工厂商中芯国际目前具备 28nm 制程量产能力,而台积电早于 2011 年已具备 28nm 量产能力,相比之下大陆厂商仍有较大差距。

  封测方面,未来高端制造+封测融合趋势初显,大陆厂商与台厂技术差距缩小。 封装测试技术目前已发展四代,在最高端技术上制造与封测已实现融合,其中台积电已建立起CoWoS 及 InFO 两大高阶封装ECO,并计划通过从龙潭延伸至中科将 InFO 产能扩增一倍,以满足苹果 A12 芯片的需求。

  封测龙头日月光则掌握顶尖封装与微电子制造技术,率先量产 TSV/2.5D/3D 相关这类的产品,并于 2018 年 3 月与日厂 TDK 合资成立日月旸电子扩大 SiP布局。由于封装技术门槛相比来说较低,目前大陆厂商正快速追赶,与全球领先厂商的技术差距正逐步缩小,大陆厂商已基本掌握 SiP、 WLCSP、 FOWLP 等先进的技术,应用方面 FC、 SiP等封装技术已实现量产。

  新一轮区域转移面向中国大陆。 尽管目前 IC 设计、制造、封测的顶级厂商主要位于美国、中国台湾。整体看来,半导体制造产业经历了美国——日本——韩台的发展历史: 1950s,半导体产业起源于美国, 1947 年晶体管诞生, 1958 年集成电路诞生。 1970s,半导体制造由美国向日本转移。 DRAM 是日韩产业高质量发展的重要切入点, 80s 日本已在半导体产业处于领头羊。 1990s,以 DRAM 为契机,产业转向韩国三星、海力士等厂商;晶圆代工环节则转向台湾,台积电、联电等厂商崛起。 2010s,智能手机、移动互联网爆发,物联网、大数据、云计算、人工智能等产业快速成长。人口红利,需求转移或将带动制造转移,能预见中国大陆已然成为新一轮区域转移的目的地。

  晶圆尺寸与工艺制程并行发展,每一制程阶段与晶圆尺寸相对应。 (1) 制程进步→晶体管缩小→晶体管密度成倍增加→性能提升。 (2) 晶圆尺寸增大→每片晶圆产出芯片数量更多→效率提升→成本降低。 目前 6 吋、 8 吋硅晶圆生产设备普遍折旧完毕,生产所带来的成本更低,主要生产 90nm 以上的成熟制程。 部分制程在相邻尺寸的晶圆上都有产出。 5nm 至 0.13μm则采用 12 英寸晶圆,其中 28nm 为分界区分了先进制程与成熟制程,根本原因是 28nm 以后引入 FinFET 等新设计、新工艺,晶圆制造难度大大提升。

  晶圆需求总量来看, 12 英寸 NAND 及 8 英寸市场为核心驱动力。 存储用 12 寸硅晶圆占比达 35%为最大, 8 寸及 12 英寸逻辑次之。 以产品销售额来看,全球集成电路产品中,存储器占比约 27.8%,逻辑电路占比 33%,微处理器芯片合模拟电路分别占 21.9%和 17.3%。依照我们预测,全球 2016 年下半年 12 寸硅晶圆需求约 510 万片/月,其中用于逻辑芯片的需求 130 万片/月,用于 DRAM 需求 120 万片/月,用于 NAND 需求 160 万片/月,包括 NORFlash、 CIS 等其他需求 100 万片/月; 8 寸硅晶圆需求 480 万片/月,按面积折算至 12 寸晶圆约 213 万片/月, 6 寸以下晶圆需求约当 12 寸 62 万片/月。

  由此估算,包括 NAND、 DRAM在内用于存储市场的 12 寸晶圆需求约占总需求 35%, 8 寸晶圆需求约占总需求 27%,用于逻辑芯片的 12 寸晶圆需求约占 17%。需求上看,目前存储器贡献晶圆需求最多, 8 寸中低端应用其次。

  下游具体应用来看, 12 英寸 20nm 以下先进制程性能强劲, 大多数都用在移动电子设备、 高性能计算等领域, 包括智能手机主芯片、计算机 CPU、 GPU、高性能 FPGA、 ASIC 等。14nm-32nm 先进制程应用于包括 DRAM、 NAND Flash 存储芯片、中低端处理器芯片、影像处理器、数字电视机顶盒等应用。

  12 英寸 45-90nm 的成熟制程大多数都用在性能需求略低,对成本和生产效率要求高的领域,例如手机基带、 WiFi、 GPS、蓝牙、 NFC、 ZigBee、 NOR Flash 芯片、 MCU 等。 12 英寸或 8 英寸 90nm 至 0.15μm 主要使用在于 MCU、指纹识别芯片、影像传感器、电源管理芯片、液晶驱动 IC 等。 8 英寸 0.18μm-0.25μm 主要有非易失性存储如银行卡、 sim 卡等, 0.35μm 以上主要为 MOSFET、 IGBT 等功率器件。

  衬底市场: 高技术门槛导致化合物半导体衬底市场寡占,日本、美国、德国厂商主导。GaAs 衬底目前已日本住友电工、德国 Freiberg、美国 AXT、日本住友化学四家占据,四家份额超 90%。住友化学于 2011 年收购日立电缆(日立金属)的化合物半导体业务,并于 2016年划至子公司 Sciocs。 GaN 自支撑衬底目前主要由日本三家企业住友电工、三菱化学、住友化学垄断,占比合计超 85%。 SiC 衬底龙头为美国 Cree(Wolfspeed 部门),市场占比超三分之一,其次为德国 SiCrystal、美国 II-VI、美国 Dow Corning,四家合计份额超 90%。近几年中国也出现了具备一定量产能力的 SiC 衬造商,如天科合达蓝光。

  外延生长市场中,英国 IQE 市场占比超 60%为绝对龙头。 英国 IQE 及中国台湾全新光电两家份额合计达 80%。 外延生长最重要的包含 MOCVD(化学气相沉淀)技术和 MBE(分子束外延)技术两种。例如, IQE、 全新光电均采用 MOCVD,英特磊采用 MBE 技术。 HVPE(氢化物气相外延)技术主要使用在于 GaN 衬底的生产。

  化合物半导体晶圆代工领域稳懋为第一大厂商,占比 66%,为绝对龙头。 第二、第三为宏捷科技 AWSC、 环宇科技 GCS,占比分别为 12%、 9%。国内设计推动代工, 大陆化合物半导体代工龙头呼之欲出。 目前国内 PA 设计已经涌现了锐迪科 RDA、 唯捷创芯 vanchip、汉天下、 飞骧科技等公司。

  国内化合物半导体设计厂商目前已经占领 2G/3G/4G/WiFi 等消费电子市场中的低端应用。 三安光电目前以 LED 应用为主,有望在化合物半导体代工填补国内空白,其募投产线 片/月产能,成为大陆第一家规模量产 GaAs/GaN 化合物晶圆代工企业。

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  由于在10nm制程上遇上问题,英特尔正在努力保持14nm晶圆供应,并且采取第一项措施来避免硅短缺。英特尔选择了不同的工艺生产大批量的硅片,首先获得此待遇的是英特尔芯片组芯片。英特尔目前重新启用22nm节点生产H310芯片组,减轻了14nm硅的供应紧张,H310是英特尔第8代和第9代处理器最简单和最低端的芯片组,并且大范围的使用在大量的办公室和消费的人PC,由于对机载通信的要求较低,可扩展性有限。这款便宜的芯片组占据了英特尔14nm制程生产线C和H310芯片组照片,尺寸差异很明显。H310C芯片组采用sSpec srcXT,据称尺寸为10mm x 7mm

  晶圆(wafer) 是制造半导体器件的基础性原材料。 极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆,晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,再经切割、封装、测试成为芯片,大范围的应用到各类电子设备当中。 晶圆材料经历了 60 余年的技术演进和产业高质量发展,形成了当今以硅为主、 新型半导体材料为补充的产业局面。半导体晶圆材料的基本框架20 世纪 50 年代,锗(Ge)是最早采用的半导体材料,最先用于分立器件中。集成电路的产生是半导体产业向前迈进的重要一步, 1958 年 7 月,在德克萨斯州达拉斯市的德州仪器公司,杰克·基尔比制造的第一块集成电路是采用一片锗半导体材料作为衬造的。半导体产业链流程但是锗器件的耐高温和抗辐射性

  中国至少已浮出三家晶圆厂将采用SOI工艺先进制程。根据MarketsandMarkets 最新预估,SOI市场在2022年市场价值将达18.6亿美元,2017-2022年期间平均复合成长率将达29.1%。其中,亚太区晶圆厂将是主力客户。下面就随半导体小编共同来了解一下相关联的内容吧。SOI之所以能迅速增加,大多数来源于消费类电子市场增长、成本下降以及芯片对于低工耗功能的需求快速攀升。尤其来自12吋晶圆的需求将于2022成为SOI最大的市场。许多亚太区客户正在大量采用SOI工艺制程生产芯片,其芯片还涵盖消费类芯片、智能手机客户以及资通讯预料也是SOI在2017-2022年之间成长最快的市场。IC客户博通(Broadcom)、 Qorvo

  中国至少已浮出三家晶圆厂将采用SOI工艺先进制程。根据MarketsandMarkets 最新预估,SOI市场在2022年市场价值将达18.6亿美元,2017-2022年期间平均复合成长率将达29.1%。其中,亚太区晶圆厂将是主力客户。SOI之所以能迅速增加,大多数来源于消费类电子市场增长、成本下降以及芯片对于低工耗功能的需求快速攀升。尤其来自12吋晶圆的需求将于2022成为SOI最大的市场。许多亚太区客户正在大量采用SOI工艺制程生产芯片,其芯片还涵盖消费类芯片、智能手机客户以及资通讯预料也是SOI在2017-2022年之间成长最快的市场。IC客户博通(Broadcom)、 Qorvo、高通( Qualcomm)、Murata

  今年8月Intel宣布俄勒冈的D1X工厂开始向450mm晶圆工艺升级,只是目前的大环境对PC并不利,而且Intel昨天表示Broadwell处理器都要延期生产,这些利空导致很多人对Intel的450mm晶圆大业的前景保持怀疑。但是,在最近的财报会议上,CEO卡兹安尼克对此正式作出回应,称Intel 450mm晶圆工艺的计划正如期进行,并没有一点改变,预计将在这个十年内的后五年应用。 目前的晶圆厂主要使用的还是300mm和200mm晶圆,下一个目标就是450mm晶圆了,但是450mm晶圆技术难度非常大,还需要新一代的EUV光刻工艺配合,整个半导体业界还处于研发技术阶段,这也就必须让人对其前景产生怀疑了。不过,这次intel

  低关键的核心器件的品质。本文将不对此进行讨论。 现在,所有要关注的问题似乎都已经有所涉及。不过,晶圆离开晶圆厂后,工艺研发人员的工作并不算完。评估后续的结果至关重要。由于磨薄后的晶圆和封装模塑料产生的应力,晶圆厂获得的性能可能会在晶圆磨薄和IC封装工艺过程中轻易地失去。因此,必须重视这类问题,以便减轻这些有害的影响。要达到这个目的,能够使用聚酰亚胺等应力释放层或者别的技术,比如在晶圆磨薄前在硅工艺结束时采用这些技术,或者在封装过程中采用这些技术。 采用晶圆厂的专用模拟COMS工艺 电子设计人员不再需要仅依靠模拟IDM获取高性能模拟CMOS性能来实现其产品的差异化。产品制造商以及无晶圆厂企业现在能够最终靠世界级的专业